Aplicação de tubos inoxidáveis na indústria de semicondutores Tubos inoxidáveis, especialmente tubos de aço inoxidável sem costura de alta pureza (316L, 316L EP, BA), são um material de base essencial indispensável em fábricas de semicondutores (Fab), desempenhando o principal...
Aplicação de tubos de aço inoxidável na indústria de semicondutores
Tubos de aço inoxidável, especialmente tubos de aço inoxidável sem costura de alta pureza (316L, 316L EP, BA), são um material de base essencial indispensável em fábricas de semicondutores (Fabs), executando principalmente as tarefas de transporte de gases ultrapuros, produtos químicos e água ultrapura.
A produção de chips semicondutores é extremamente sensível à contaminação:
1. Poluição por partículas
2. Contaminação por metais
3. Poluição por umidade
4.Contaminação com matéria orgânica (TOC)
Mesmo impurezas de nível nanométrico podem levar à falha de todo o wafer.
Portanto, o sistema de transporte deve ter:
1. Pureza ultra-alta
2. Emissão extremamente baixa de impurezas
3. Resistência à corrosão
4. Sem formação de partículas
5. A capacidade de trabalho estável a longo prazo
E os tubos de aço inoxidável 316L eletropolidos (EP) são agora a solução principal.
Principais cenários de aplicação:
1.Sistemas especiais de fornecimento de gás
2. Sistemas de água ultrapura
3. Sistemas de abastecimento de produtos químicos
4.Sistemas de vácuo
Padrões de tubos de aço inoxidável amplamente utilizados na indústria de semicondutores
| Nome | Padrão |
| Materiais | 316L |
| Padrão | ASTM A269 |
| Padrão de pureza ultra-alto | SEMI F20 |
| Tratamento de superfície | BA, EP. |
| Rugosidade | Ra ≤ 0,25 µm |
| Método de soldagem | Soldagem orbital |
| Aula de limpeza | Classe 100 / ISO 5 |
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